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東莞市粵翔水處理設備有限公司
地址: 東莞市東城區(qū)牛山渦嶺工業(yè)園8號廠
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www.ch-water.com www.kuougmf.cn
主營產(chǎn)品: 中水回用設備、分離提純設備、廢水處理設備、污水處理設備、車用尿素生產(chǎn)設備
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電子工業(yè)超純水的工藝
2013-03-13
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質。 用兩級反滲透制取 電子工業(yè)超純水處理設備 采用兩級反滲透主機加EDI 制取電子工業(yè)超純水處理設備 制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程 電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種: 1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點 2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點 3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進行搭配的的方式,這是一種制取超純水的最新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點 |
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